IS014644—1洁净室空气洁净度等级标准

洁净室空气洁净度等级国际标准IS014644—1出台后，为人家认可并应用。美国有关当局於2001年11月底宣布废除FS209E标准而代之以ISO14644—1。从而解决了FS209标准中存在着的主要矛盾，即其洁净度等级不适应对空气洁净的越来越高的控制要求及国际单位制应采用的需要。

此前，FS209标准的英制等级虽然存在上述矛盾，但在国际范围内大家还是一直沿用，原因是：

(1)虽然各主要国家都有各自的洁净室洁净度等级标准，但基本是参照FS209标准，仅在单位制及等级符号上进行变换，还不如采用FS209标准更为大家所熟悉及更易于沟通。1989年日本摆脱FS209的影响而颁布JISB9920洁净度等级标准，改用较合理的等级依据公式，IS014644—1的等级公式就是采用它的，但当时是难为大家所认同的。

(2)1992年，FS209E颁布替代FS209D标准，旨在对以上存在的主要矛盾进行解决，但解决得并不理想。因此大家并没按其首先推荐采用的国际单位制的等级而还是沿用原英制等级(英制等级FS209亦还允许采用)。

ISO14644—1标准适应发展要求，是有所发展的。现把其与FS209E的主要不同点作一介绍，并对其等级(依据)公式及表达格式等方面作一对比分析，可能有助于应用。

2空气洁净等级标准IS014644一l与FS209的不同点

两标准的主要不同点汇总列于表1。

3有关洁净度等级依据。表达格式等特点的对比分析

3．1等级依据公式不同而引起结果差异IS014644—1的洁净度等级依据公式与FS209E的不同，主要是将参照粒径由0．5m改为0．1m；累积分布指数n，由2．2改为2．08。其结果的差异是：

(1)ISO1级比FS209E的M1级有更严的要求。ISO1级对被考虑粒径为0．1m时，其≥0．1m粒径最大浓度限值，即被滤粒径下粒子累计分布最大浓度值，为lOpc／m，而M1级则为350pc／m，其对照可见表2。ISO的等级就更适应对洁净度控制要求更严的发展需要。

(2)由于FS209的英制洁净度等级已为大家所熟悉，改用其他标准的等级必然需要有种方便的对应关系。ISO3、4、5、6、7、8级各与英制的1、10、100、1000、10000、100000级相当，即在被考虑粒径D=0．51J,m时，其≥O．51a,m粒子的最大浓度限值是相同的；ISO的相关等级参数都是整数，若n仍采用FS209E的2．2，则与英制等级对应的ISO等级序数就不是整数了，因此问题不在于2．08还是2．2更符合实际，而在于方便合适，因为大气中悬浮粒子累计分布指数n，其经验值一般在22．3间。

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