电子厂房净化空调工程改造设计

摘要： 本文在天津某电子厂房原有的净化空调工程基础上，对工艺布置和净化空调系统提出改造方案，并对方案设计进行了简单的介绍.

1 原有净化空调工程情况

1.1 简况

该厂房位于天津市开发区，建于1995年，主要生产半导体芯片。厂房共建三层，需改造项目位于二层，系统的平面布置如图1所示。系统总面积1510m2， 其中空调面积385m2,净化面积1125m2，净化级别除黄光室为千级外，其余均为万级。

1.2 系统存在的主要问题

(1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构，

其余房间均为敞开式，净化区域与非净化区混合在一起，系统较为混乱，难以控制和调节，净化区域的洁净度不能达到要求；

(2)非净化区域的扩散炉，经测定表面温度可达50℃，散热量非常大，在原有设计中存在空调送风量不足问题，造成扩散炉周围区域的温度高达37℃，并且回风循环使用，不利于节能；

(3)酸洗槽的排风量不足，平均断面风速为0.1m/s，酸性物质存留在室内环境中，不能有效地排出，严重影响室内的卫生和生产环境；

(4)在厂房洁净区入口处的风淋室风速为12m/s的要求，需要更换循环风机。

2 改造方案

针对系统运行中出现的的以上情况，经与甲方协商，提出了改造方案。

2.1 工艺布置改造方案

2.2 净化空调系统改造方案

3 改造后的使用效果

系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求，在动态下检测，厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。

4 结论

本工程改造前主要特点表现在系统工艺布置不合理(未对净化区及非净化区时行明确划分)、混用净化及非净化区空调系统，不符合“规范”的要求；酸洗槽排风量不足；护散炉区因送风少及未设局排设施导致环境温度超标；改造后将生产工艺布局做了适当调整，按照规范的要求，对净化区及非净化区单独设置空调系统；加大酸洗槽排风量，同时采用了热排风回收装置，对补充新风进行预热（预冷），节约能源，降低运行费用。建议在今后的空调工程设计中，对于生产环境有要求的工艺，既应该按照生产过程布置工艺，同时还要考虑到有利于空调净化系统的调节和控制，保证生产环境的可靠性。

作者：天津城市建设学院环境工程公司 范卫军 苏久荣

天津城市建设学院热能工程系 郭春梅 李岩

作者简介：范卫军，男，1971年5月生，大学，工程师

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