电晕放电法 臭氧发生器

电晕放电合成臭氧是目前世界上应用最多的臭氧制取技术，此技术能够使臭氧产量单台达 500 kg/h 以上。

电晕放电法（无声放电或辉光发电法）就是一种干燥的含氧气体流过电晕放电区产生臭氧的方法。常用的原料气体有：氧气空气以及含有氮、二氧化碳，或许还有其他惰性稀释气体的含氧混合气体。

臭氧的产生机理：

虽然有若干机理可能同电晕内臭氧的形成有关，但 ① 式特殊反应途径被认为是主要的

e+O2 →2O ＋ e ①

利用高速电子轰击氧气，其分解成氧原子。高速电子具有足够的动能（ 6 ～ 7eV ） , 紧接着通过三体碰撞反应形成臭氧。

O+O2 +M→O3 ＋ M ②

式中 M 是气体中任何其它气体分子，不过与此同时，原子氧和电子也同样同臭氧反应形成氧气。

O+O3 →2O2 ③

e+O3 →O+O2 +e ④

此外，电晕内的气体是处于可促进臭氧分解反应的高温下，所以净臭氧产量或出口产气组成是形成和分解臭氧所有反应的总和。净产率依众多因素而变，包括：原料气的氧气含量和温度、原料气含的污染物、达到的臭氧浓度、电晕中的功率密度、冷却剂的温度和流量及冷却系统的效率。这些因素都影响着实用的、经济上有吸引力的臭氧发生器和系统的设计。

1.1 沿面放电 – 臭氧发生器

沿面放电型发生器原理属于电晕放电，其放电区发生在高压电极边缘表面，由高压闪络形成。沿面放电区空气电晕能量集中，功率密度较高，需要良好的冷却。

充气玻璃放电管发生器国外称作臭氧灯，八十年代初外国远洋食品冷藏船仓杀菌防霉就使用这种臭氧发生器。我国邯郸、大连灯船舶工业相关单位首先研制了这种产品，做成 5g/h 的发生器用于鸡蛋、果蔬冷库消毒与保鲜。由于结构简单、工艺要求低，我国很快发展了这种用于医疗行业和消毒柜的微型管式发生器，数量很大，价格便宜。但经多年实践检验，该种发生器大多数寿命极短，一般连续工作几百小时后产生的臭氧量即所剩无几了。

臭氧陶瓷片资料见于七十年代日本专利文献，八十年代鞍山静电技术研究院与日方合作引进生产技术，北方交通大学与重庆师范学院同期也合作研制过同类陶瓷片臭氧产品。九十年代，一批公司推出几种规格臭氧陶瓷片，并有以“等离子体发生器”冠名。陶瓷片结构简单，工艺标准化后价格也会比较低廉，其寿命比充气玻璃管要长。鞍山静电研究院与成都正邦公司的产品采用地极被封闭陶瓷、高压极防氧化涂膜工艺，对提高质量、延长寿命大有好处。

沿面放电器件作为医疗、家电产品微型发生器的臭氧

臭氧发生器，紫外线杀菌灯